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          • 深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

            單面CMP拋光機(jī)

            型號(hào):DL-855/4P-CMP

            單面拋光機(jī)是單面精密拋光設(shè)備,采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種先進(jìn)控制方法,拋光加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。

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            單面CMP拋光機(jī)
            設(shè)備優(yōu)勢(shì)

            ◎ 本設(shè)備為單面精密拋光設(shè)備,采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種先進(jìn)控制方法,拋光加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。


            ◎ 整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),設(shè)備參數(shù)設(shè)置和操作簡(jiǎn)單方便,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性高。


            ◎ 主電機(jī)采用變頻調(diào)速控制,實(shí)現(xiàn)主機(jī)軟啟動(dòng)、軟停機(jī)降低設(shè)備運(yùn)行沖擊,減少工件損傷。


            ◎ 工件拋光壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實(shí)現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制,保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性。


            ◎ 上壓盤采用主動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,在確保產(chǎn)品撤光速率的前提下保證各工位拋光加工的統(tǒng)一性。


            ◎ 拋光盤與上壓盤都設(shè)置了冷卻水冷卻功能,在保證拋光液發(fā)揮最大效率的同時(shí)減少拋光盤面的變形。


            性能參數(shù)
            參數(shù)名稱單位DL-855/4P-CMP
            主電源V三相 380
            主電機(jī)功率KW15
            主電機(jī)轉(zhuǎn)速RPM0~85
            上盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)速RPM0~70
            拋光盤尺寸mm855
            加工尺寸2-8
            工作工位4
            工件盤尺寸
            mmΦ305x15
            單工位壓力Kg20~300
            拋光液流速L/min15(可調(diào))
            主盤溫度檢測(cè)±5
            設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1200x1650x2250
            設(shè)備重量Kg約2450
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            CMP拋光機(jī)根據(jù)客戶不同的需求進(jìn)行定制,滿足不同客戶的需求,擁有專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),設(shè)備精度高,負(fù)責(zé)上門安裝調(diào)試及培訓(xùn)

            TAG標(biāo)簽:單面拋光機(jī)晶圓拋光機(jī)軟拋機(jī)精密拋光機(jī)